高端装备制造
基于液晶空间光调制器的空间移相动态干涉仪及其应用
本发明属于光学技术领域,具体涉及基于液晶空间光调制器的空间移相动态干涉仪及其应用;干涉仪包括:He‑Ne激光器、第一针孔滤波、第一准直扩束系统、λ/2波片、偏振分光棱镜、第一λ/4波片、第二准直扩束系统、第二针孔滤波、偏振片、液晶空间光调制器、第二λ/4波片、标准球面镜头、被测镜、检偏器、成像系统、第三针孔滤波和光探测器,通过对SLM的编码调制实现非球面元件与自由曲面元件的动态测试,并通过使用SLM代替微偏振移相阵列实现空间相位调制,不仅装调简单,且不需要微偏振移相阵列,难度大大降低,且本发明具有实时性动态显示的功能,并且耗能低、易控制、速度快,更容易提高空间分辨率,实现高精度测量。
长春理工大学
授权发明