专利名称 一种有机无机混合集成的可变光衰减器及其制备方法
申请号/专利号 CN202111438405.X 专利权人(第一权利人) 吉林大学
申请日 2021-11-30 授权日 2024-04-19
专利类别 授权发明 战略新兴产业分类 双五星
技术主题 电极|折射率|工程学|转换器|波导管|聚合物|掺磷|有机无机|二氧化硅|聚合物波导|锗|材料科学|光开关|光衰减器
应用领域 光波导的耦合|光波导光导
意向价格 具体面议
专利概述 一种有机无机混合集成的可变光衰减器及其制备方法,属于平板光波导器件及其制备技术领域,由硅衬底、二氧化硅下包层、条形结构的掺锗的二氧化硅输入波导和掺锗的二氧化硅输出波导、基于垂直MMI结构的层间转换器、掺硼和磷的二氧化硅上包层、1×1马赫曾德热光开关、聚合物上包层和加热电极组成,输入波导和输出波导的折射率大于二氧化硅上包层的折射率。本发明垂直MMI结构紧凑,以聚合物热光开关型VOA器件取代了传统无机PLC的VOA器件,实现了光从下层无机波导向上层聚合物波导的传输,本发明高效率地调节光传输功率,器件功耗低,实现了有机无机光子器件的单片集成,与现有二氧化硅PLC工艺相兼容,易于大规模生产,成本低。
图片资料 一种有机无机混合集成的可变光衰减器及其制备方法
合作方式 具体面议
联系人 戚梅宇 联系电话 13074363281