| 专利名称 | 一种基于OFETs的超薄异质结复合薄膜气体传感器的制备方法 | ||
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| 申请号/专利号 | CN201910608883.7 | 专利权人（第一权利人） | 长春工业大学 |
| 申请日 | 2019-07-08 | 授权日 | 2021-06-01 |
| 专利类别 | 授权发明 | 战略新兴产业分类 | 新一代信息技术 |
| 技术主题 | 真空蒸发|薄膜|异质结|交叉指形电极|复合膜|空间电荷|基板|物理学|材料科学 | ||
| 应用领域 | 通过电磁手段进行材料分析 | ||
| 意向价格 | 具体面议 | ||
| 专利概述 | 本发明是一种基于OFETs的超薄异质结复合薄膜气体传感器的制备方法，在覆盖有二氧化硅（SiO2）绝缘层的Si衬底上真空蒸镀C60和VOPc超薄薄膜形成异质结，然后真空蒸镀铝叉指电极构成超薄异质结复合薄膜气体传感器。一方面，由于异质结效应，在两种材料的界面处形成了空间电荷区，有利于载流子的输运，提升了器件对NO2气体的灵敏度；另一方面，高度结晶的C60薄膜和高度有序的VOPc薄膜有利于NO2气体的吸附与解吸附，得到了快速响应/回复的气体传感器。 | ||
| 图片资料 |
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| 合作方式 | 具体面议 | ||
| 联系人 | 戚梅宇 | 联系电话 | 13074363281 |
