| 专利名称 | 一种用于双光子聚合加工的三维椭圆运动工作台 | ||
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| 申请号/专利号 | CN201510621673.3 | 专利权人（第一权利人） | 长春工业大学 |
| 申请日 | 2015-09-27 | 授权日 | 2017-07-21 |
| 专利类别 | 授权发明 | 战略新兴产业分类 | 高端装备制造 |
| 技术主题 | 高频波|椭圆运动|铰链角度|工程学|光子|超精密|椭圆|聚合|运动参数|电|高频 | ||
| 应用领域 | 照相制版工艺曝光装置|微光刻曝光设备 | ||
| 意向价格 | 具体面议 | ||
| 专利概述 | 本发明涉及一种用于双光子聚合加工的三维椭圆运动工作台，属于超精密加工领域。由X向、Y向、Z向三个压电叠堆驱动具有柔性铰链结构的工作台，可实现X、Y、Z三个方向的微动，三个压电叠堆分别由预紧螺钉进行预紧，工作台的各个方向由单独的压电叠堆驱动，避免了其他方向运动对该驱动方向的扰动；对三个压电叠堆通以频率相同而相位差不为零的驱动信号，可以实现工作台在空间的二维椭圆运动或三维椭圆运动，通过控制椭圆运动参数，可调整椭圆的方位和大小，工作台X向、Y向的柔性铰链采用直梁式铰链首尾相连组合而成；本发明涉及的工作台加工简单，体积较小且有较好的载物空间，可实现高频、连续的三维椭圆运动。 | ||
| 图片资料 |
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| 合作方式 | 具体面议 | ||
| 联系人 | 戚梅宇 | 联系电话 | 13074363281 |
