专利名称 一种可制备复杂微结构的纳米压印装置
申请号/专利号 CN201810020867.1 专利权人(第一权利人) 长春工业大学
申请日 2018-01-10 授权日 2024-05-28
专利类别 授权发明 战略新兴产业分类 高端装备制造
技术主题 玻璃转化温度|化学|微观结构|纳米结构|光刻胶|压印|物理学
应用领域 光机械设备
意向价格 具体面议
专利概述 一种可制备复杂微结构的纳米压印装置,首先放卷辊放出衬底,涂胶辊将光刻胶涂在衬底上,将衬底传送到压印装置下方,加热辊将光刻胶加热到玻璃化温度,压印辊一进行压印,然后固化,之后通过刻蚀装置清除残余层,衬底再次回到压印装置下方,再进行加热,旋转盘将压印辊二转至第一次压印后的光刻胶上方,压印辊二进行压印,压印辊二压印完成后,重复以上步骤至压印辊三压印完成后,再将得到的复杂微结构的衬底通过收卷辊收集起来。本发明通过多辊压印制备复杂微结构,能够在较低成本下快速有效的制备复杂微纳结构,方法简单,装置及加工实现成本相对较低,且制备图案精度较高,减少了误差,避免了对衬底上图案和模板损伤及更换模板成本问题。
图片资料 一种可制备复杂微结构的纳米压印装置
合作方式 具体面议
联系人 戚梅宇 联系电话 13074363281