| 专利名称 | 一种二维辅助振动的压印装置 | ||
|---|---|---|---|
| 申请号/专利号 | CN201820504453.1 | 专利权人(第一权利人) | 长春工业大学 |
| 申请日 | 2018-04-11 | 授权日 | 2018-10-26 |
| 专利类别 | 实用新型 | 战略新兴产业分类 | 高端装备制造 |
| 技术主题 | 非弹性变形|计算机工程|抗蚀剂|工作站|风冷|剪切变形|电热板|镀膜 | ||
| 应用领域 | 光机械设备 | ||
| 意向价格 | 具体面议 | ||
| 专利概述 | 一种二维辅助振动的压印装置,其包括工作台、XY轴位移台、Z轴位移台、二维微动平台、压印装置、加热板。涂胶后的衬底置于二维微动平台上,XY轴位移台将二维微动平台移动到模板下方,加热板对光刻胶进行预热,光刻胶未达到玻璃化温度,预热完成后,启动二维微动平台并带动衬底实现二维振动,Z轴位移台控制压印装置对衬底进行压印,压印完成后在空气中冷却固化,最后进行振动辅助脱模,本实用新型采用二维微动平台带动衬底实现压印时X轴、Y轴振动,使压印过程产生剪切变形进而使光刻胶非弹性变形或流动,提高模板空腔的填充率,增强压印图案的保真度,提高压印效率,降低脱模时的粘附力,对大尺寸特征以及高纵宽比的微结构压印成型十分有利。 | ||
| 图片资料 |
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| 合作方式 | 具体面议 | ||
| 联系人 | 戚梅宇 | 联系电话 | 13074363281 |