专利名称 一种二维辅助振动的压印装置
申请号/专利号 CN201820504453.1 专利权人(第一权利人) 长春工业大学
申请日 2018-04-11 授权日 2018-10-26
专利类别 实用新型 战略新兴产业分类 高端装备制造
技术主题 非弹性变形|计算机工程|抗蚀剂|工作站|风冷|剪切变形|电热板|镀膜
应用领域 光机械设备
意向价格 具体面议
专利概述 一种二维辅助振动的压印装置,其包括工作台、XY轴位移台、Z轴位移台、二维微动平台、压印装置、加热板。涂胶后的衬底置于二维微动平台上,XY轴位移台将二维微动平台移动到模板下方,加热板对光刻胶进行预热,光刻胶未达到玻璃化温度,预热完成后,启动二维微动平台并带动衬底实现二维振动,Z轴位移台控制压印装置对衬底进行压印,压印完成后在空气中冷却固化,最后进行振动辅助脱模,本实用新型采用二维微动平台带动衬底实现压印时X轴、Y轴振动,使压印过程产生剪切变形进而使光刻胶非弹性变形或流动,提高模板空腔的填充率,增强压印图案的保真度,提高压印效率,降低脱模时的粘附力,对大尺寸特征以及高纵宽比的微结构压印成型十分有利。
图片资料 一种二维辅助振动的压印装置
合作方式 具体面议
联系人 戚梅宇 联系电话 13074363281