专利名称 一种基于非谐振辅助的纳米压印装置
申请号/专利号 CN201910617395.2 专利权人(第一权利人) 长春工业大学
申请日 2019-07-10 授权日 2024-09-17
专利类别 授权发明 战略新兴产业分类 高端装备制造
技术主题 机械工程|分辨率|物理学|材料科学
应用领域 光机械设备
意向价格 具体面议
专利概述 本发明公开了一种基于非谐振辅助的纳米压印装置,首先将衬底放在衬底卡盘中,调节Y轴位移平台及X‑Z轴位移平台使衬底移动到模板正下方,再控制X‑Z轴位移平台使压印装置向下运动,直至压印装置与衬底微接触,控制X‑Z轴位移平台进行压印,在压印同时使用Z向振动平台对衬底施加Z向振动,然后利用冷却装置对衬底进行冷却固化,最后用揭开式振动辅助的方法进行脱模,本发明采用Z向振动平台带动衬底进行压印,提高模板空腔的填充率与微纳图案的分辨率;采用吸气泵及多个独立封闭通道在脱模时实现揭开式脱模,在模板在与衬底逐渐分离的同时进行振动辅助,减小模板与压印胶间的粘附力,从而减少脱模时对模板造成的损伤与毁坏,延长模板的使用寿命。
图片资料 一种基于非谐振辅助的纳米压印装置
合作方式 具体面议
联系人 戚梅宇 联系电话 13074363281