专利名称 一种振动辅助的纳米辊压装置
申请号/专利号 CN201910617379.3 专利权人(第一权利人) 长春工业大学
申请日 2019-07-10 授权日 2024-08-23
专利类别 授权发明 战略新兴产业分类 高端装备制造
技术主题 纳米结构|压印|物理学
应用领域 光机械设备
意向价格 具体面议
专利概述 本发明涉及一种振动辅助的纳米辊压装置,首先,将机架水平放置于实验台上,然后调节X‑Y轴位移平台使Z向振动装置位于压印辊的正下方,再将已涂胶衬底固定于衬底卡盘中心,调节微调装置使压印辊水平,然后控制Z轴位移平台下移使压印辊与压印胶微接触,启动加热装置对衬底进行加热,加热完毕后开始压印,压印同时Z向振动装置开始振动,然后冷却脱模,最后控制Z轴位移平台上升,压印结束。本发明中采用Z向振动装置,使模板与压印胶之间产生间隙接触,减少两者之间的粘附力,通过多次间隙接触进行摩擦产热,使得压印胶融化流动,提高压印胶的填充度,再通过微调装置调节压印辊水平,冷却装置进行降温,进一步提高微纳结构的精度与保真度。
图片资料 一种振动辅助的纳米辊压装置
合作方式 具体面议
联系人 戚梅宇 联系电话 13074363281