| 专利名称 | 一种振动辅助的纳米辊压装置 | ||
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| 申请号/专利号 | CN201910617379.3 | 专利权人(第一权利人) | 长春工业大学 |
| 申请日 | 2019-07-10 | 授权日 | 2024-08-23 |
| 专利类别 | 授权发明 | 战略新兴产业分类 | 高端装备制造 |
| 技术主题 | 纳米结构|压印|物理学 | ||
| 应用领域 | 光机械设备 | ||
| 意向价格 | 具体面议 | ||
| 专利概述 | 本发明涉及一种振动辅助的纳米辊压装置,首先,将机架水平放置于实验台上,然后调节X‑Y轴位移平台使Z向振动装置位于压印辊的正下方,再将已涂胶衬底固定于衬底卡盘中心,调节微调装置使压印辊水平,然后控制Z轴位移平台下移使压印辊与压印胶微接触,启动加热装置对衬底进行加热,加热完毕后开始压印,压印同时Z向振动装置开始振动,然后冷却脱模,最后控制Z轴位移平台上升,压印结束。本发明中采用Z向振动装置,使模板与压印胶之间产生间隙接触,减少两者之间的粘附力,通过多次间隙接触进行摩擦产热,使得压印胶融化流动,提高压印胶的填充度,再通过微调装置调节压印辊水平,冷却装置进行降温,进一步提高微纳结构的精度与保真度。 | ||
| 图片资料 |
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| 合作方式 | 具体面议 | ||
| 联系人 | 戚梅宇 | 联系电话 | 13074363281 |