专利名称 一种可制备多级微结构的装置
申请号/专利号 CN202110249538.6 专利权人(第一权利人) 长春工业大学
申请日 2021-03-06 授权日 2024-07-12
专利类别 授权发明 战略新兴产业分类 高端装备制造
技术主题 微观结构|固定框架|滑动触点|底板
应用领域 光机械设备
意向价格 具体面议
专利概述 本发明涉及一种可制备多级微结构的装置,属于纳米压印领域。可升降平台一固定在机架的左侧板上,可升降平台二固定在机架的右侧板上,微调节装置一通过螺钉固定在可升降平台一上,微调节装置二通过螺钉固定在可升降平台二上,固定架左侧通过螺钉与可升降平台一连接、右侧通过螺钉与可升降平台二连接,压印装置通过圆柱卡扣与固定架滑动接触,支撑台通过螺钉固定在XY位移平台上,XY位移平台通过螺钉固定在机架的底板上。优点是堆叠精度高,使光辊上的微结构与平面衬底更好的线性接触,提高了堆叠的精度;便于多层堆叠:能够将光辊上压印好的单层微结构在平面衬底上进行不同层数的堆叠,使得制备多级微结构不受装置的限制。
图片资料 一种可制备多级微结构的装置
合作方式 具体面议
联系人 戚梅宇 联系电话 13074363281