专利名称 一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置及方法
申请号/专利号 CN201710990339.4 专利权人(第一权利人) 长春工业大学
申请日 2017-10-22 授权日 2024-01-02
专利类别 授权发明 战略新兴产业分类 材料化工
技术主题 机械工程|UV固化|光刻胶|紫外线|物理学|材料科学
应用领域 照相制版工艺涂层设备|照相制版工艺曝光装置|微光刻曝光设备
意向价格 具体面议
专利概述 本发明涉及一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置及方法,涉及紫外纳米压印领域。收卷辊用于将衬底卷收起来,放卷辊用于放出衬底,滚筒压印装置位于收卷辊和放卷辊之间,收卷辊与放卷辊工作时保持同步旋转,涂胶装置中含有光刻胶,用于在衬底上涂抹一层均匀的光刻胶,滚筒压印装置用于将压印模板上的微小图案压印于涂完胶的衬底上,支撑辊一,支撑辊二,支撑辊三,支撑辊四,均为可透光的圆柱形,支撑辊二,支撑辊三,支撑辊四中均放置有紫外固化装置。优点是精确调控各模板以及紫外灯可固化的距离,能够制造出超大面积的纳米压印无缝图案,加入了多个压印辊同时进行压印超大型图案,提高了纳米压印的生产效率。
图片资料 一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置及方法
合作方式 具体面议
联系人 戚梅宇 联系电话 13074363281