| 专利名称 | 一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置及方法 | ||
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| 申请号/专利号 | CN201710990339.4 | 专利权人(第一权利人) | 长春工业大学 |
| 申请日 | 2017-10-22 | 授权日 | 2024-01-02 |
| 专利类别 | 授权发明 | 战略新兴产业分类 | 材料化工 |
| 技术主题 | 机械工程|UV固化|光刻胶|紫外线|物理学|材料科学 | ||
| 应用领域 | 照相制版工艺涂层设备|照相制版工艺曝光装置|微光刻曝光设备 | ||
| 意向价格 | 具体面议 | ||
| 专利概述 | 本发明涉及一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置及方法,涉及紫外纳米压印领域。收卷辊用于将衬底卷收起来,放卷辊用于放出衬底,滚筒压印装置位于收卷辊和放卷辊之间,收卷辊与放卷辊工作时保持同步旋转,涂胶装置中含有光刻胶,用于在衬底上涂抹一层均匀的光刻胶,滚筒压印装置用于将压印模板上的微小图案压印于涂完胶的衬底上,支撑辊一,支撑辊二,支撑辊三,支撑辊四,均为可透光的圆柱形,支撑辊二,支撑辊三,支撑辊四中均放置有紫外固化装置。优点是精确调控各模板以及紫外灯可固化的距离,能够制造出超大面积的纳米压印无缝图案,加入了多个压印辊同时进行压印超大型图案,提高了纳米压印的生产效率。 | ||
| 图片资料 |
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| 合作方式 | 具体面议 | ||
| 联系人 | 戚梅宇 | 联系电话 | 13074363281 |