序号 | 仪器图片 | 仪器名称 | 仪器型号 | 功能 | 操作 |
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在轨组装电信号匹配系统 | H-BTS2000-M | 总线测试 | 查看详情> |
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大负载高精度光学模块自动装调设备 | H-850H1 | 电子装调 | 查看详情> |
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米级口径离轴非球面模块亚微米量级精密装配台 | LEITZPMM-XI12.10.07 | 光学加工 | 查看详情> |
4 |
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紫外/极紫外光学系统大尺寸框架位置测量设备 | 32000-725 | 位移测量 | 查看详情> |
5 |
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大尺寸复杂结构紫外/极紫外光学系统多点联动空间位置精密测量设备 | AT-960-MR | 位移测量 | 查看详情> |
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基于动态干涉检测的复杂外形离轴非球面元件工作面紧凑型定位装置 | PHASECAM6000 | 位移测量 | 查看详情> |