利用电子束在光致抗蚀剂表面上扫描,直接产生图案。
曝光尺寸为几十纳米到微米级可调。
最小线宽:40-50 nm,束斑选择:纳米级是2.0 微米级是2.5 。
面积:200*200 µm,加速电压:30 kV。