电子束曝光系统(EBL)

功能:电子装调
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仪器型号:JC Nabity NPGS V9.1
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发布人:管理员
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利用电子束在光致抗蚀剂表面上扫描,直接产生图案。

曝光尺寸为几十纳米到微米级可调。

最小线宽:40-50 nm,束斑选择:纳米级是2.0 微米级是2.5 。

面积:200*200 µm,加速电压:30 kV。


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